柔性活塞桿氣缸在三坐標(biāo)測量機(jī)上的應(yīng)用：

　　用作三坐標(biāo)測量機(jī)的Z軸。三坐標(biāo)測量機(jī)是集機(jī)械、電子、光學(xué)、軟件等先進(jìn)技術(shù)為一體的先進(jìn)測量儀器，它能對復(fù)雜零件的幾何尺寸形位公差(尤其是曲線曲面)進(jìn)行高精度、高速度的測量，能與加工中心聯(lián)機(jī)。三坐標(biāo)測量機(jī)有三條坐標(biāo)軸，即X、Y、Z軸。為了降低阻力，確保測量過程中的平穩(wěn)性和精確度，X、Y軸可采用導(dǎo)軌或氣浮形式。而Z軸剛性較差，且又需安裝測量頭，因此不宜采用與X、Y 軸相同的方法，而是采用重錘平衡方式。但這樣增加了它在X、Y 軸方向上的運(yùn)動慣量。由于運(yùn)動阻力大、成本高、結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，這種方式目前已被平衡氣缸所取代。平衡氣缸的特征是低摩擦、甚至無阻力。當(dāng)氣缸上腔通入某一個壓力后，可抵消缸筒及測量頭的重力，讓測量頭在上下加速測量位移時不受重力影響。為了減小測量頭(包括缸筒部件)與活塞桿在Z軸直線方向的誤差，大多數(shù)三坐標(biāo)測量機(jī)制造廠商在安裝平衡氣缸時采用平面軸承等方法連接活塞桿頂端，使其在X、Y軸方向自由浮動，但是這種方法在高速測量時將造成測量機(jī)振動而降低精度。為了實(shí)現(xiàn)測量頭在Z軸方向上下運(yùn)行時的自動調(diào)節(jié)，我們需要設(shè)計(jì)一種柔性活塞桿氣缸?；钊麠U由二段不同材質(zhì)的部件組成：上半段采用金屬材料制成的活塞桿，它有外螺紋與機(jī)架固定;下半段活塞桿采用塑料PFAN，確保活塞桿有足夠的柔性，使得柔性活塞桿在Z軸運(yùn)動時的偏差與缸筒和測量頭無關(guān)。